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　　樱桃视频在线观看免费播放高清版的微型化随着集成微电子机械加工技术的日趋成熟，MEMS传感器将半导体加工工艺引入传感器的生产制造，实现了规模化生产，并为传感器微型化发展提供了重要的技术支撑。近年来MEMS传感器主要研发以下几个方向：

　　1、微型化的同时降低功耗；2、提高精度；3、实现MEMS传感器的集成化及智能化；4、开发与光学、生物学等技术领域交叉融合新型传感器。